Entwicklung eines Hochtemperatur-Magnetfeldsensors zur Detektion schwacher Felder

Autor: Anja Wienecke

ISBN: 978-3-95900-032-1

Dissertation, Leibniz Universität Hannover, 2015

Herausgeber der Reihe: Lutz Rissing

Band-Nr.: IMPT 02/2015

Umfang: 195 Seiten, 83 Abbildungen

Schlagworte: Riesenmagnetowiderstandseffekt, GMR, thermische Stabilität, Austauschkopplung

Kurzfassung: Umgebungen mit mehr als 150 °C stellen eine besondere Herausforderung für Sensoren dar. Eine zunehmende Anzahl von Applikationen erfordert jedoch Sensoren, die eine solche thermische Stabilität aufweisen. Im Rahmen dieser Arbeit wird die Entwicklung eines Magnetfeldsensors untersucht, welcher auch bei 250 °C zuverlässig arbeitet und dabei sensitiv genug ist, kleine Magnetfelder, wie das der Erde, zu erfassen. Im Fokus stehen die Entwicklung eines thermisch stabilen Schichtsystems sowie der Entwurf eines geeigneten Sensordesigns und dessen prozesstechnische Umsetzung mit abschließender Charakterisierung.